Entwicklung und Konstruktion von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)

Kleinsttechnologien treiben die größten Innovationen in der Elektronik von heute voran, von Smartphone-Bewegungssensoren bis hin zu fortschrittlichen medizinischen Implantaten.Dieser Kurs bietet einen klaren Weg in die Welt der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS), indem er aufschlüsselt, wie diese winzigen Maschinen funktionieren und wie sie auf mikroskopischer Ebene hergestellt werden.Sie werden vom Erlernen grundlegender physikalischer Prinzipien zum Erfassen der komplexen Arbeitsabläufe, die für die Erstellung funktionaler Mikrogeräte erforderlich sind, übergehen und das Fachwissen erwerben, das für die Navigation an der Schnittstelle zwischen Maschinenbau und Elektronik erforderlich ist. Was Sie lernen werden: - Verstehen Sie die Grundprinzipien der Skalierung und die einzigartige Physik der Mikrobewegung. - Identifizieren Sie wesentliche MEMS-Materialien, einschließlich Silizium, Polymere und piezoelektrische Dünnschichten. - Erkunden Sie Kernfertigungstechniken wie Photolithographie, Ätzung und Oberflächenmikrobearbeitung. - Analysieren Sie den Betrieb gängiger MEMS-Geräte wie Beschleunigungsmesser, Gyroskope und Drucksensoren. - Anwenden von Kenntnissen über Verpackungs- und Testanforderungen für eine zuverlässige Mikrosystemleistung. - Untersuchen Sie moderne Trends in BioMEMS und die Integration von Mikrosensoren mit IoT-Netzwerken. Der Kurs beginnt mit grundlegenden Begriffen und Konzepten, bevor Sie detaillierte schriftliche Erklärungen zu Materialeigenschaften und Herstellungsschritten erhalten. Sie werden dann spezifische Gerätearchitekturen und die praktischen Herausforderungen der Markteinführung von Mikrosystemen anhand technischer Fallstudien erkunden. Dieser Kurs richtet sich an Anfänger, Studenten und Fachleute, die eine technische Einführung in das Mikroengineering ohne vorherige MEMS-Erfahrung wünschen.